二手 KLA / TENCOR 5100 #293767084 待售
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KLA/TENCOR 5100是一种晶圆测试和计量设备，设计用于快速、可靠地检测晶圆缺陷。该系统结合了先进的光学和高精度扫描，为稀薄晶片和其他表面特征的三维缺陷提供了快速可靠的检测。KLA 5100包括Brightfield和Darkfield成像功能,使其能够检测和分析晶圆的微观特征以及宏观组件。该设备的HDM技术可生成详细的表面地形图像,以识别和分类稀薄晶片和其他晶片上的表面特征。它还包括一个高分辨率成像机器，可以检测纳米颗粒污染物和其他粒径小至三纳米的颗粒。该工具包括先进的缺陷分类资产，可以识别20多种缺陷，包括分层、空隙、划痕和异物颗粒。该模型还包括强大的计量能力，能够对晶圆特征进行精确和可重复的测量，如步高、表面划痕、金属填充深度和模具粗糙度。TENCOR 5100还包括一个集成软件套件,具有强大的软件工具,可用于图像分析和数据处理。例如,它包括用于映射缺陷的工具。数据分析功能包括用于识别小的关键缺陷的迭加技术,以及用于在晶圆中定位和表征电气参数的示意图分析工具。该设备专为在全天候环境中坚固可靠的运行而设计。它采用模块化设计,可互换部件,有助于最大限度地提高正常运行时间。此外，经重点机构认证，具有可追踪性、可重复性和准确性。5100系统非常适合半导体制造商和其他需要精确检测和检查晶圆缺陷的行业。该单元是高度可靠的，提供快速检测和准确的计量数据。
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