二手 KLA / TENCOR 5100 #9043939 待售

KLA/TENCOR 5100是一种高端晶圆测试和计量设备，设计用于生产级过程控制和数据分析。它结合了几种不同的现有测试设备的特点，创建了一个能够非常精确、快速和可靠的测试的集成系统。KLA 5100基于四束工具，用四个激光编码器测量晶圆特征，从而在一次扫描中实现超精确特征测量。可以安装多种不同类型的编码器处理系统，为电气和光学测量创造了非凡的灵活性和测量精度。它由一个先进的工艺室构成，以保护敏感仪器免受与工艺相关的材料、灰尘和空气传播的污染。这也允许掺杂晶片、离子植入等工艺工具的整合。TENCOR 5100有一个非常大的工艺窗口，使得吞吐量比单束单元高得多。5100的集成成像机可用于以高分辨率和快速扫描时间捕获晶圆的图像。这使得快速识别重要特征特征和潜在过程异常变得非常容易。KLA/TENCOR 5100还具有先进的对准系统、高放大光学和横向计量等高端计量能力。这样就可以精确测量小特性,例如临界尺寸（CD）,以及评估电气性能特性。最后，KLA 5100使用复杂的软件收集过程、测试和计量步骤的结果，并进行分析，以确保最优化可靠的过程。这样就可以快速识别可能出现的任何过程问题,并采取纠正措施解决这些问题。TENCOR 5100是一款性能极高的晶圆测试和计量工具，为生产地板带来灵活性、准确性、吞吐量和分析等优点。它是晶圆工艺评价、改进和优化的理想资产。