二手 KLA / TENCOR 5100 #9182972 待售

KLA/TENCOR 5100是一种晶圆测试和计量设备，可提供有效和可靠的晶圆参数测定。该系统旨在快速测量和分析一系列临界尺寸、地形参数、表面粗糙度和其他临界晶圆特性。KLA 5100使用精密的光学和光学变形传感技术来精确地捕捉有关晶圆特性的数据。该装置具有高分辨率CMOS成像相机、高分辨率光谱仪、高精度编码器、晶圆运动用高精度步进电机，以及用于精确测量的多通道信号处理机。该工具能够高速、深入、精确地映射晶圆的轮廓。它可以检测由于晶圆表面蚀刻或变薄而导致的地形变化。资产的高级光学可以测量表面的地形，而高分辨率的CMOS相机可以扫描表面以检测特征大小、高度和位置。TENCOR 5100配备了精密的信号处理模型来测量晶圆的轮廓参数。该设备采用多通道信号处理系统，能够准确、快速地检测晶圆特性。该单元还具有确保测量数据精度的精密空气轴承。机器收集的数据用于分析晶圆的临界特性。分析包括对特征大小、特征形状、特征曲面粗糙度、曲面轮廓、特征位置和其他参数的全面回顾。此数据可帮助制造商快速诊断晶圆问题,并优化流程以提高产品质量。总体而言,5100是一种高效可靠的晶圆测试和计量工具,它提供高级功能,可快速分析和精确测量。通过提供有关晶片关键特性的实时数据，确保了高质量晶片的生产。