二手 KLA / TENCOR 5100 #9216348 待售

KLA/TENCOR 5100是一种晶圆测试和计量设备,旨在促进高效的生产工作流程。KLA 5100平台是一个全场、背面（非接触式）表面检查和测量系统，能够实现全面、可靠的缺陷检测和准确度，而无需不断的手动操作。TENCOR 5100利用先进的成像技术和强大的成像分析软件，提供检验和缺陷计量数据。该成像子系统是为最大限度的缺陷检测和精度而设计的。一种快速扫描的激光线标线、远心光学和高分辨率的线间传输CCD提供了多种晶圆类型的全场覆盖。整个5100平台可以通过添加可选的机器人技术实现完全自动化。晶圆可以从负载端口转移到KLA/TENCOR 5100的卡盘，然后由设备以最大的效率进行检查。在手动操作时,KLA 5100的人体工程学设计允许操作员使用标准的人体工程学工具和功能,在舒适、符合人体工程学的位置上保持靠近检查区域的位置。先进的计量平台能够对晶圆的状况和临界维度进行精确的测量和分析。KLA的先进功能,如自动布线、水滴缺陷计数、感兴趣的区域测量和滚动前表面映射,为各种晶圆类型提供了可靠的精确度。TENCOR 5100还具有强大的软件界面。它允许配置和控制所有机器参数、数据采集、图像分析和报告生成。全面的板载缺陷分析工具提供了晶圆两侧的快速缺陷分类，以改进表征。5100适用于大批量生产环境，设计方便安装、操作和维护。该工具还可以扩展和升级,使用户能够根据需要进行自定义。此外,KLA/TENCOR 5100还提供多种配置,以满足不同产品和行业的特定需求。