二手 KLA / TENCOR 5100 #9236398 待售

KLA/TENCOR 5100是为先进制造和研发设施设计的高性能晶圆测试/计量设备。该系统是一个可重新配置的平台，具有多种测试和计量选项，允许用户根据自己的需要对其进行定制。KLA 5100的核心由一个大的视场数码相机组成，它捕获每个晶片的整个正面或背面的图像。然后可以使用一套先进的机器视觉算法来分析这些图像，以检测各种缺陷，如颗粒和划痕。此外,该单元还可以测量关键晶片工艺结果,如光刻线宽、层厚度和模具尺寸。TENCOR 5100为用户提供高速吞吐量、准确的结果和易用性。它采用紧凑的模块化设计,只需最小的安装空间。机器使用光源来反向照亮整个晶片，从而能够检测到小于一微米大小的缺陷。它采用了最先进的CCD相机，比以前系统的相机快四倍。5100包含多个自动化过程,包括集成校准、漂移校正、检查配方、报告、直方图生成和数据传输。KLA/TENCOR 5100最多同时支持四项检查任务，允许同时执行多种不同类型的评估。此外，该工具能够同时检查多个基板或面板尺寸。凭借其先进的模式匹配算法，KLA 5100可用于有效检测晶圆表面的划痕、穿刺和污染物等损伤。此外，它还为测量特征参数以及嵴椎和侧壁信息提供了缺陷分类和对比度控制。总体而言,TENCOR 5100是业界领先的晶圆测试/计量资产,可提供高速、高精度、稳健和可重复的结果。它提供多种检查和计量选项,以满足各种客户需求。通过灵活的设计,用户可以轻松地为各种产品检查和计量任务定制它。因此,5100可以成为高级生产和研发设施的宝贵工具。