二手 KLA / TENCOR 5100 #9236713 待售

KLA/TENCOR 5100是一种高性能晶圆测试和计量设备，旨在满足半导体制造行业的需求。其先进的光学技术、高速操作、广泛的功能和自动化操作使其成为生产和研究实验室的理想解决方桉。KLA 5100具有自动光学检查系统,能够自动扫描晶片的任何缺陷。它的光学头结合了两个激光二极管，一个成像单元和两个不同的基板角度，允许对晶圆表面进行3D检查。这台机器能够检测微米尺度的缺陷，每秒最多可执行4次测量。TENCOR 5100还包括高级计量工具和功能。它可以测量高达25微米的干膜水平，轮廓高达50微米。它还可以执行高达+/-2微米的迭加测量。此外，这种工具可以测量电阻率和薄膜厚度高达40纳米。在操作和自动化方面，5100配备了集成的晶圆-探测站，使其能够控制晶圆，精度高达1微米。此外,此资产能够自动加载和卸载晶片,从而消除用户干预。KLA/TENCOR 5100也可以进行远程控制和编程，从而使晶圆的操作更加容易，处理效率更高。该模型与大多数行业标准的处理工具集成，可以与各种主机计算机系统一起使用。总体而言,KLA 5100是满足晶圆测试和计量需求的先进高效解决方桉。该设备具有多种特点、高速运行和自动化任务,是任何半导体制造设施的理想选择。