二手 KLA / TENCOR 5100 #9293246 待售

KLA/TENCOR 5100是一种晶圆测试和计量设备，旨在提高半导体工业高纯度基板的生产。这个先进的自动化系统实施了一系列的过程和系统，旨在准确地测量和评估基板的纯度。KLA 5100单元使用激光辅助扫描系统，以确保高精度测量基板的特性。此外，它还拥有一台先进的无损检测机器，利用电子束检测小到10纳米的特征。该工具具有自动校准功能，以保证测量的准确性和测试结果的准确性。TENCOR 5100资产的另一个特点是利用AOI工具和先进缺陷检测算法的组合检测过程异常的专有缺陷检测模型。设备还可以同时跟踪多个基板，确保交付结果的准确性。为了优化系统性能,5100实现了动态可重新配置自动化（DRA）平台,该平台能够快速高效地更改测试配方。该平台还允许用户通过指定不同大小和数量的测试数据来调整测试条件，以满足流程需求。此外,该设备还支持多种接口,包括通过以太网或USB对计算机进行现场控制。此外，KLA/TENCOR 5100工具也设计用于高分辨率成像。资产以标准反射、计量或暗场照明模式提供基板的高分辨率图像。它还支持CCD格式或5000像素系列的扫描。此外,它的图像处理功能允许将多个图像缝合并将其缝合到单个视觉目标上。为了提高灰尘和污染敏感性，该模型包括一个双级颗粒识别，从而可以对颗粒进行准确的识别和分类。该设备还具有提供灵活检测路线的多轴级，并配备了自动失态和过程控制系统。总体而言,KLA 5100单元提供了精密的计量和缺陷检测功能,并结合了自动校准功能,优化了高纯度基板生产的性能。其先进的成像和粒子识别系统使其成为高端半导体产业的有力选择。