二手 KLA / TENCOR 5100 #9351407 待售
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KLA/TENCOR 5100晶圆测试计量设备是一个多功能平台，旨在提供微电子电路制造行业内的质量控制和过程控制。该系统配备了最先进的光学器件，用于精确测量晶圆上的临界尺寸和特征尺寸。它包含一个自动计量模块,可快速分析晶片中复杂的模式,从而提供高吞吐量和可靠的过程控制。KLA 5100采用自动光学显微镜装置，用于检查各种基板上的图样，包括等离子体蚀刻开发的晶片和抗蚀层。它具有高分辨率探测器和精密的软件，用于识别小缺陷，如坑和空隙，以及精确的微观测量。工具上的微型机电试验头可以快速、准确地探测和测试晶圆上特定样品上的电信号。该MEMS技术用于精确测量集成电路的功能和电性能。TENCOR 5100还具有用于测量晶圆表面厚度、反射率和地形的多传感器资产,以及化学机械抛光（CMP）选项,用于测试化学机械抛光技术所产生的表面的均匀性。此外，该模型还包含了一个测量层厚度均匀性的光学散射仪，以及一个非均匀性表面测量（Non-Uniformity-of-Surface Measurement，NUSM）工具，用于分析晶圆表面的微观不规则性。5100能够在尺寸范围内测试晶片,从小于1毫米到最大450毫米。在数据分析方面，设备可用于创建过程控制图表和值，以测量过程随时间推移的稳定性。此外，该系统还提供了一个直观的用户界面，非常适合开发半导体行业的研发应用。KLA/TENCOR 5100晶圆测试计量单元是一个多功能平台，旨在为半导体行业提供高吞吐量、精确测量和可靠的过程控制。它采用了各种最先进的技术来分析晶片上复杂的模式和电性能，并提供过程控制所必需的定量数据。该机能够测量晶圆尺寸从不到1毫米到450毫米，是分析各种基材的理想选择。
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