二手 KLA / TENCOR 5105 #293592897 待售

KLA/TENCOR 5105是一种晶圆测试和计量设备，设计用于先进的晶圆生产和工艺控制。它以经过KLA验证的1D和2D检验计量技术为基础，并结合了具有自校准能力的新型300 mm光学显微镜系统，以提高吞吐量、提高准确性和提高生产率。该单元提供具有自动模式识别和独特焦点体系结构的2D几何对齐计量。KLA 5105提供了改进的线宽测量精度和缩小的测量范围,从而实现了有效的线宽控制。此外，机器能够检测和分析晶片缺陷，如空隙，划痕和颗粒物。TENCOR 5105采用了TENCOR创新的共焦扫描技术,以确保精确和可重复的测量,同时减少数据收集时间和相关成本。该工具能够在一次完整扫描中执行48个测量点,从而提高吞吐量并提高最终产量。集成的图像处理算法也允许改进粒子分析。5105以其先进的低千伏资产，针对200毫米晶圆进行了优化，并能够100微米分辨率的精确粒径测量。通过快速有效地识别关键缺陷,此功能进一步提高了产量。KLA/TENCOR 5105使用其强大的OpticsFaber 4.2软件,专门设计用于在短时间内分析单个晶圆和全面板序列。该模型配备了内置的实时CMP监视器和精确分类和测量电阻性开放式缺陷的缺陷分类设备。总体而言,KLA 5105是晶圆测试和计量的理想选择,可提高速度、精度、吞吐量和精度。它还可以提高过程控制和产量优化。该系统是监测和分析关键缺陷、减少周期时间和提高产量的宝贵工具。