二手 KLA / TENCOR 5105 #9117501 待售

ID: 9117501
Inspection system.
KLA/TENCOR 5105是一种高度先进的晶圆测试和计量设备,为精确性能和精度而设计。它对单个晶圆图上的各种计量特征提供了最可靠和最全面的报告。该系统能够测量诸如薄膜应力、地形、电气特性、各种DVD参数、临界尺寸、迭加、深度轮廓、侧壁角度、表面粗糙度和3D高度图像等参数。它的高级软件解决方桉允许审查多个技术级别,同时考虑到每个模块的在线启动和在线结束要求。该单元由一个大的测量区域构成,能够容纳直径最大为3英寸的多个晶片。该机器设计用于同时对多达16个晶片进行并发测量,允许用户以最大吞吐量和产量收集数据。KLA 5105工具配备了先进的点计量,提供了高精度和重复性。它能够以较高的精度检测线宽和空间、高度差异、地形等等。资产的专利扫描框架确保快速准确的测量。该模型采用模块化配置,使用户能够为其监控需求选择最佳配置。用户可以从高级功能中进行选择,例如晶圆负载和卸载的手动和自动选项、自动重新测量操作以及缺陷分析方面的专家建议。TENCOR 5105设备的设计考虑了用户安全。它配备了三重冗余安全系统,以防止与关键部件意外接触。该单位还遵守所有地方和国际安全条例。该计算机具有简单、用户友好的界面和直观的菜单,使用户可以轻松浏览可用的功能。它得到KLA广泛的服务和支持网络的支持,提供可靠性能的保证。
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