二手 KLA / TENCOR 5107 #146169 待售
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KLA/TENCOR 5107是一种晶圆测试和计量设备,利用高分辨率成像结合数据分析来测量晶圆表面的物理性质。它是一个全自动系统,能够同时测试和验证多个晶片的准确性,确保无缺陷生产和分析所测试的材料。KLA 5107利用多个激光束和光传感器,在晶圆表面上创建小结构和缺陷的高分辨率图像。通过使用先进的图像处理算法,该单元可以检测和测量晶圆粗糙度和轮廓中可能指示缺陷或过程变化的微小变化。这使机器能够隔离问题区域,从而实现快速可靠的缺陷和过程监控。除了提供可靠准确的结果外,TENCOR 5107还提供卓越的速度和灵活性。该工具能够在几分钟内测量和分析整个晶片,包括所有小至0.2纳米的测量。它具有多种可互换组件,可用于不同的测试场景。这些组件坚固耐用,可以长时间使用,而不会出现严重的磨损。5107输出可通过图形打印、数据库和文件系统等多种格式访问。所有数据都可以直接导出到工程工作站、实验室或任何其他类型的控制资产。此模型也具有高度的通用性,可以配置为容纳各种测试应用程序。总之,KLA/TENCOR 5107是一种先进的晶圆测试和计量设备,它结合了高分辨率成像、复杂的图像处理算法和各种可互换组件,以快速灵活的方式可靠地、准确地提供准确的结果。
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