二手 KLA / TENCOR 5107 #293628543 待售

KLA/TENCOR 5107晶圆测试和计量设备是将自动化光学和表面计量技术与精密晶圆测试相结合的创新工具。KLA 5107利用高精度数码相机、精密级以及集成的光学成像和处理算法,实现基于图像的表面检查和分析功能。TENCOR 5107具有先进的图像处理算法,可以在分析晶圆表面时实现前所未有的数据粒度。该系统能够识别微缺陷、表面纹理和形状测量以及超灵敏晶圆工艺相关变化。这种精确度使5107能够识别可能显着影响成品整体质量的过程问题。KLA/TENCOR 5107还提供高达0.1微米的快速、可重复的计量分辨率,以及高达∼5mm x 5mm的视野。这允许测试和评估各种晶圆大小和几何形状。此外,KLA 5107还与其他系统集成,以实现额外的集成过程控制和数据同步。这种集成允许设备连续实时监控和更新结果。TENCOR 5107设计用于生产线和研发实验室。这两个行业越来越需要对晶圆质量进行准确、可重复和一致的测量,而5107在一台高性能的机器中提供了所有这些数据。速度、精度和可靠性的结合使得KLA/TENCOR 5107成为晶圆计量和测试的理想工具。总体而言,KLA 5107晶圆测试和计量资产为希望快速准确测量晶圆质量的制造商和研究实验室提供了革命性的解决方桉。TENCOR 5107通过对具有改进的数据粒度、视野、过程集成和可重复计量的创新光学和表面计量技术进行梳理,为自动晶圆计量和测试设定了新的标准。