二手 KLA / TENCOR 5107 #9105810 待售

KLA/TENCOR 5107是一种晶圆测试和计量设备，用于半导体工业。它旨在精确测量、检查、表征和分析含有半导体和MEMS器件的晶片。该系统采用了一系列精密光学、传感器和成像系统，使其能够分析各种模具尺寸和应用空间。KLA 5107的主要部件是其高精度的XY级，可以对晶片内的模具进行精确的探测和测试。XY级能够以高达300 mm/s的速度在测试站点之间移动模具,并具有超微米的耗尽精度,从而确保在给定测试区域内的测量结果一致。该单元能够自动识别一系列模具尺寸和区域,从而允许选择晶圆内的单个模具进行测试。TENCOR 5107具有一系列的高分辨率成像系统，允许识别和表征晶圆缺陷。其中包括两个独立的线扫描摄像机,可提供高达10.2 um的图像分辨率,以及五个用于模具特征高分辨率成像的区域摄像机。5107还包括先进的照明系统，允许在模具背面突出特定的结构和结构。在计量应用方面,KLA/TENCOR 5107配备了一系列3D检测系统,可用于测量表面高度和粗糙度、薄膜和材料厚度、间隙测量和模模配准。这些测量均以高精度进行，确保在分析和工艺开发中准确地表示模具的微观结构。KLA 5107还配备了一系列分析软件工具，增强了机器的能力，使检验数据得以进一步分析。这些工具还采用了数据挖掘技术，可以生成流程开发和产量分析的趋势报告。总体而言，TENCOR 5107是一款针对半导体行业的功能强大的晶圆测试和计量工具。它结合了精密光学、成像系统和分析工具，使模具的测量和表征达到微观尺度，确保测试和计量应用的准确性。