二手 KLA / TENCOR 5107 #9117500 待售

KLA/TENCOR 5107晶圆测试和计量设备是一种高度先进的多通道系统，设计用于精确晶圆测试和计量测量。此基准单元提供了广泛的功能,包括阵列晶圆缺陷检查、3D计量、线宽测量和临界尺寸（CD）检查。KLA 5107采用高分辨率成像机,在各种材料上实现大于1：200的对比度,以及打印和蚀刻的图样。该工具的功能还包括用于运动控制的数字伺服模块、用于增强晶圆处理的多通道集成平台以及用于精确结果的异常快速的数据采集模块。晶圆处理是自动完成的,无需手动处理。TENCOR 5107还具有用于分析和实现精确测量的高级算法。因此,资产可以检测到小至10nm的缺陷,精度为0.2nm。此外,该模型还可以以高达20 nm的精度测量阵列放置,以及在半导体制造领域的关键因素-线宽技术中的详细尺寸缩小。5107还包括用于处理的高级自动化工具,这些工具简化了与晶圆测试和计量相关的一些步骤。自动化设备能够在单个操作中检测、复制和分析测量结果,从而无需手动处理。这减少了数据分析所需的时间和工作量,使其成为最快的测试和测量系统之一。KLA/TENCOR 5107为精确晶圆测试和计量需求提供了先进的解决方桉。该系统具有自动化、高分辨率成像和高级分析工具的独特组合,为用户提供了高精度和高效的解决方桉。此外,它的多渠道集成中心和非常快速的数据采集模块使其非常适合任何需要精确晶圆测试和计量测量的应用。