二手 KLA / TENCOR 5107XP #9241509 待售
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KLA/TENCOR 5107XP晶圆测试和计量设备是为半导体工业设计的先进质量控制工具。该系统包括硬件和软件组件,旨在精确测量和分析晶圆的物理特性,包括晶圆的大小、形状和表面质量。该单元以高精度光学技术为基础,利用复杂的基于软件的图像处理算法,在人工方法所需时间的一小部分内获得精确的测量结果。KLA 5107XP的硬件包括一个先进的光学检查头,使用高光泽CCD相机获取图像数据。该机器具有5轴电动级,允许在多个方向上扫描整个晶片。该级可以编程为覆盖较大的区域,或更详细地扫描晶圆的各个部分。这样就可以精确测量晶圆的大小、形状和表面特征,例如凸点、凹坑和其他不规则性。TENCOR 5107XP的软件设计为与硬件一起处理图像数据。它包括可以检测、识别和分类各种特征的图像处理算法。先进的统计分析算法使该工具能够量化所进行的任何测量,然后可用于晶圆质量控制和过程管理的评估。5107XP能够以高吞吐量的方式进行测试和计量。可以通过自动程序控制检查头和5轴级,该程序允许在几分钟内快速扫描整个晶片,而不是手动扫描数小时。这有助于确保快速彻底地检查每个晶片,从而在整个制造过程中控制质量和过程管理。KLA/TENCOR 5107XP资产被认为是半导体行业不可或缺的工具。其精确、高通量的测量有助于确保一致的晶圆质量控制,其精密的分析算法允许逐个晶圆对工艺性能进行精确的评估。因此,该模型非常适合保持从晶圆制造到成品的最高产品质量和可靠性。
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