二手 KLA / TENCOR 5200 #293597899 待售

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ID: 293597899
晶圆大小: 8"
Overlay measurement system, 8", parts system.
KLA/TENCOR 5200是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体制造业。它是一个多维系统,能够在制造过程中对晶片进行多种无损质量保证和控制测试。KLA 5200利用光学和干涉测量技术相结合,对半导体器件和材料进行高度精确和可重复的测量。它具有自动化的多维成像单元,具有大视野和可调节的照明,以确保晶圆特征的精确对准和准确分析。此外,该机还具有自动对准和校准功能,以减少用户错误并确保可靠的结果。TENCOR 5200能够测量各种参数,例如临界沟槽宽度、临界直径和临界角半径。它还具有用于检测的内置曲面缺陷库,以及用于非标准特征的模式识别的特征。该工具配备了先进的数据处理能力,使其能够从多个角度快速分析数据,手动调整参数以优化结果。数据可以几种格式导出,并使用其内置以太网连接通过网络或互联网传输。5200是一种高度可靠和准确的晶圆测试和计量资产,可用于多种应用。它使用户能够快速检查和分析晶片的缺陷,以及测量影响设备性能的关键参数。这使得它非常适合在需要快速诊断和精确分析的一系列半导体制造环境中使用。
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