二手 KLA / TENCOR 5200 #293624519 待售

ID: 293624519
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5200是一种自动化晶圆测试和计量设备,用于半导体行业的高级工艺控制和产品开发。这种最先进的设备具有集成的测试和分析功能,能够进行从晶圆开始到晶圆完成的高效晶圆测试。该系统配备了晶圆矩阵测试(WMT)站、内置扫描电子显微镜以及先进的图像分析工具。WMT单元提供了一个晶片中多达七个不同层的高分辨率图像,并实现了快速决策。通过无损检测和先进图像分析相结合,KLA 5200可以在几分钟内准确确定缺陷。扫描电子显微镜为每一层提供了高度详细的三维图片,以检测比WMT产生的二维图像所能有效看到的更深的缺陷的存在。通过对每一层的详细分析,机器能够准确识别和区分纳米级的结构。集成的CDS图像分析软件提供了一整套高级测量、分析和缺陷识别功能。这使操作员能够快速准确地识别和定位重要特征,如桥梁缺陷、线条缺陷、接触孔和其他特征。TENCOR 5200旨在让操作员完全控制他们的晶圆测试过程。该工具是高度可配置的,允许操作员根据其特定要求定制检查标准。它还具有可调的灵敏度,以便更精确、更精细地检测缺陷。此外,该资产还包括一个全面的参数和算法库,以简化整个过程。5200适用于研发实验室和生产环境。它的自动化操作确保了一致、可靠的结果和资源的有效利用。KLA/TENCOR 5200结合了创新的硬件、先进的图像处理和简化的用户界面,是一种功能强大的晶圆测试和计量工具,可实现更快、更有效的决策。
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