二手 KLA / TENCOR 5200 #293752141 待售
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ID: 293752141
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Overlay measurement system, 8"
(2) Open cassettes
Operating system: Windows NT
2000 vintage.
KLA/TENCOR 5200是KLA最先进的晶圆测试和计量系统。KLA 5200提供卓越的性能,具有快速的吞吐量和高精度,非常适合制造商和工艺开发人员。它是2D和3D全球检测或计量的理想平台。TENCOR 5200利用最新技术在晶圆或线级快速检测异常值并产生趋势。它具有全狭缝采样到狭缝扫描功能,每小时可提供高达150个晶片的快速数据处理,而其超精确的光学平台可确保精度和精度降至10 nm可重复性。5200具有先进的基于软件的系统和检查、3D表征和过程控制功能,非常适合现代制造。它包含自动化过程、广泛的自动化和过程控制,以及用于晶圆检查和分析的功能丰富的数字环境。它支持数字图像分析,用于用户可定义的缺陷检测,并提供过程分析和自动缺陷审查,以帮助识别元素缺陷。KLA/TENCOR 5200具有开放式体系结构和第三方模块化功能,能够紧密集成到客户现有的基础架构中。它具有直观的图形用户界面,易于使用,其高级自动化功能消除了繁琐的手动操作步骤。KLA 5200是一个综合晶圆测试和计量系统,设计时考虑了行业标准。其卓越的性能和准确性,加上模块化和易于使用的设计,使其成为2D和3D全局检查、表征和过程控制的完美系统。有了TENCOR 5200,制造商和工艺开发者可以保证高产量、更短的开发时间和最大的效率。
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