二手 KLA / TENCOR 5200 #293771819 待售

KLA/TENCOR 5200是一种高性能、多传感器的计量设备，专用于晶圆测试和计量。该系统提供了先进晶圆检测和计量功能的独特组合。KLA 5200支持多种传感器技术和子系统，包括轮廓扫描、2D成像、色彩剖析、薄膜厚度测量、晶圆曲率测量和表面映射。这种强大的组合提供了一个高能力和精确的晶圆检验和计量单元，能够检测亚微米级缺陷和评估缺陷类型，以确定其来源。该机器包括几个软件模块，这些模块允许自动化测试和计量功能的集成。这样可以最大程度地降低测试错误的风险,并实现高效、高通量的晶圆检查。此外,软件模块还提供各种可定制的选项,使操作员能够调整检查的参数以最好地满足其要求。这些功能允许使用高度自动化、可靠和准确的晶圆测试和计量工具。TENCOR 5200资产还具有高精度扫描功能，能够测量内存"比特卡"和模上测试结构等小特性。该模型专为检查包括蚀刻、薄膜、厚膜层在内的半导体晶片而设计。设备由几个子系统组成，每个子系统设计为执行不同的任务。其中包括晶圆机器人系统、晶圆映射单元、晶圆运动机、晶圆表面采集工具和晶圆分析资产。此外，该模型还可与KLA自动缺陷分析设备集成，确保对缺陷进行实时、高效、准确的分析。5200是一个高性能晶圆测试和计量系统,提供强大的功能和各种高级功能。该设备高度自动化和可靠,能够进行高效、高通量的测试和计量。它专为检测亚微米级缺陷而设计，为制造商提供了准确评估缺陷类型和鉴别其来源的能力。KLA/TENCOR 5200具有全面的特性和功能,是半导体晶片测试和计量的领先解决方桉。