二手 KLA / TENCOR 5200 #293808764 待售

ID: 293808764
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5200是一种晶圆测试和计量设备,旨在提高生产产量,降低运营成本,改善工艺控制。它提供了先进的自动化晶片测试和分析,以识别过程问题并优化整个层的生产。KLA 5200的集成硬件和软件包提供高吞吐量晶圆测试,设计为快速、准确且维护最少。它具有自动化的内联晶片处理系统,使晶片的加载、处理和卸载更加容易和高效。它还包括自己的晶圆测试软件,该软件可提供快速、可靠的测试数据,从而使操作员对结果有更大的信心。TENCOR 5200运行在低功耗、低调的单元上。它包括一个用户-frinedly,无控制台GUI和兼容几乎所有流行的数据库平台。它还提供了一系列先进的技术,如模式识别、光掩码检查、薄膜计量和缺陷检查。5200可以检测和分类晶片中的微观缺陷和结构畸变。KLA/TENCOR 5200的软件还支持晶圆的上侧和下侧图像分析。它具有功能强大的光学机器,具有多种LED照明选项和适配器,可提供高分辨率、低噪声和高达200 mm晶圆的高速成像的测试解决方桉。KLA 5200技术为测试和计量提供了完整的解决方桉。利用这一工具,不断监测和评估工艺参数,以优化生产和提高产量。它还提供了用于监控和跟踪生产步骤以进行质量控制的强大软件工具。
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