二手 KLA / TENCOR 5200 #9113826 待售

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ID: 9113826
Inspection System, 6" 2000 vintage.
KLA/TENCOR 5200是一种晶圆测试和计量设备,其设计目的是在先进的半导体制造阶段为关键工艺提供卓越的精度和精确度。厂商依靠这个系统来识别小缺陷,降低成本,提高产量率。一旦晶片被放置到KLA 5200的成像模组中,一个单元的激光器、探测器和光学器件会测量晶片表面的各种特徵大小。激光被引导到样品上,然后由光电二极管或CCD探测器收集,并由机器的计算机硬件进行分析。这样可以对晶片的特性进行精确、定量的测量。同时,信息以各种格式提供,用于报告、图形输出和纠正操作。TENCOR 5200配备了一系列用户可配置的硬件和软件选项,使应用程序能够灵活地满足任何制造环境的需求。这包括一系列计量头,涵盖粒子检测、覆盖、背面计量和其他过程。每个系统都是为了优化测量过程而设计的,而模块化设计则有助于减少停机时间和维护成本。该工具还能够自动测量、分析和修理生产材料。这样可实现快速、准确的过程控制,以确保生产线的最佳性能。它也可以用来分析晶圆表面的缺陷并辨别原因。该资产甚至可以与其他系统结合使用,以启用逆向工程功能,允许用户基于现有晶圆创建设计。最后,5200凭借其直观的用户界面提供了更好的用户体验。它可以轻松导入和导出CAD数据,从而轻松创建部件。符合人体工程学的设计也有利于长时间工作的操作员,提高他们的生产率水平。KLA/TENCOR 5200是一种精密的晶圆测试和计量模型,能够提供准确可靠的结果,帮助推动半导体行业的制造过程。它采用先进的硬件和软件,以及用户友好的界面来增强用户体验,使其成为任何制造环境的绝佳补充。
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