二手 KLA / TENCOR 5200 #9213909 待售

KLA/TENCOR 5200晶圆测试和计量设备是一个完整的过程、缺陷、分析和数据管理解决方桉。该系统旨在最大限度地提高性能、可靠性和吞吐量,同时提高晶圆级产量和产品质量。该单元包含一个高通量的512通道空间可选的TEMax-II检测模块（TEMax-II DM），能够快速准确地检测整个晶圆的重要过程变化、像差和电气特性。这与通过Waferflux TM工艺控制模块的高级工艺监控相结合,该模块能够以闭环方式调节工艺温度和流程。利用先进的Scan-and-MatchTM软件驱动的特征识别技术,机器可以快速检测和量化晶圆上的模式,从而实现快速、准确的产量分析和过程优化。此外,KLA 5200晶圆测试和计量工具的设计可提供一流的精确度和精确度,其精确度可降低到每像素1 nm,速度可达每秒5,000次。每个模具每个模式最多可分析六个不同的物理电气参数，结果存储在数据库中以便于检索。直观的用户界面和对操作员友好的功能提供了可自定义的访问级别、轻松的数据输入管理以及与其他系统的轻松数据互换性。TENCOR 5200资产具有大量强大的分析和故障追踪功能。它提供了多个信号检测算法和模式识别软件来识别和隔离整个晶圆的缺陷。它还支持与自动缺陷识别（ADR）、模具级故障分析（DLA）、集成电路测试测量系统（TMMS）等故障隔离系统集成，以实现全面准确的屈服表征和缺陷分析。最终，5200晶圆测试和计量模型是一个过程监测和分析的综合解决方桉，具有易于使用的界面、先进的检测和分析能力，以及高精度和高通量的能力，用于快速、准确的屈服分析和缺陷诊断。这种设备在半导体工业中越来越流行，在半导体工业中，工艺的变化和准确性至关重要。凭借其特点，它非常适合中高批量生产作业和研发。