二手 KLA / TENCOR 5200 #9233117 待售

KLA/TENCOR 5200是为半导体制造而设计的晶圆测试和计量设备。该系统为晶圆测试提供了极好的精度和速度，使其成为市场上最先进的计量单元。KLA 5200采用紧凑的设计,使其适合200 mm或300 mm的制造系列。它还具有先进的软件包和硬件体系结构,为晶圆采样提供卓越的性能。这台机器能够同时测试多种底物，包括硅、砷化氙、氧化铝等材料。TENCOR 5200利用光散射法和干涉法来精确测量跨一系列层、过程和步骤的晶圆参数。它能够测量晶圆的光学、电气、物理和化学参数及其相关技术。然后由工具收集数据并进行分析,以确保质量标准得到维护。借助5200的现场计算能力，资产能够对晶圆、工艺或基板进行实时调整，以细化任何缺陷。它还具有识别晶片性能动态趋势的能力。KLA/TENCOR 5200生成可导出的自动计量报告、显示缺陷特征的透射电子显微镜（TEM）图像以及晶圆材料的横截面图像。KLA 5200提供了许多其他好处,包括改进的产量管理、广泛的支持应用程序和远程控制功能。它的模块化设计使用户能够用其他制造商的组件轻松更换或升级其零件。该模型与行业标准接口兼容，使其能够与生产控制和数据收集系统集成。总体而言,TENCOR 5200是一种先进而可靠的晶圆测试和计量设备,具有许多功能。它能够精确测量各种基板、层和工艺的各种参数，提供对晶圆性能的宝贵洞察。该系统为用户提供了一种快速、准确和可靠的方法来测量、测试和分析晶片及其相关技术,使其成为半导体制造的宝贵工具。