二手 KLA / TENCOR 5200 #9299363 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9299363
Overlay measurement system
(2) VS46K-EA Digital VAX station 4000 60 CPU KA4A
(2) FR-925WW-CD Digital venturis 5100
PC Included.
KLA/TENCOR 5200是一种先进的晶圆测试和计量设备,专为高精度、卓越的性能和准确性而设计。KLA 5200专注于先进的维度、过程中和过程后晶片计量,具有卓越的晶片聚焦控制功能,可提供卓越的测量和可重复性。该系统设计用于测量各种基板上的纳米、亚微米和微米级特征,包括硅和砷化的。它还提供一系列高分辨率、高速成像和共聚焦显微镜功能。TENCOR 5200配备了多种传感器和探针卡的选择,用于测量、分析和检查各种测试参数,如临界特征、特征大小、线宽、平坦度等。此外,该单元还提供多种不同的扫描技术,如Photomask/Stencil Inspection、Sidewall Imaging、3D Topography和Thin Film Analysis。凭借其广泛的可配置选项,可以定制计算机以满足任何客户的特定需求。该工具提供了广泛的测量、扫描、成像和对齐选项,使其能够测量甚至最复杂的形状和轮廓。5200还配备了用于分析、控制和报告所有类型晶圆特性的强大工具集。这包括一个可视化的报告功能,允许工程师以用户友好的格式快速查看和分析测试结果。此外,该资产还具有自动化采样计划程序,可帮助定义和捕获最具代表性的数据批次。它还提供远程诊断,使用户能够远程诊断、诊断和控制其模型。KLA/TENCOR 5200提供业界最先进的晶圆测试和计量能力。它具有无与伦比的性能、准确性和可靠性,是任何需要精确测量和详细分析的应用程序的理想选择。
还没有评论