二手 KLA / TENCOR 5200XP #9118489 待售
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ID: 9118489
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Overlay measurement system, 8"
Hardware:
Chuck 8"
Autoloader
(2) 8" open cassette load ports
Main VME card cage
Motor VME card cage
Flotation module
LINNIK and KLAASP
Power module
Hardware configuration:
Main console
Handler: dual open cassette
(2) Load ports: 8" open cassette
Signal tower
GEM/SECS
Network
Standard wafers: DSW75.1
Main VME card cage:
CPU board
Memory board
Video (frame grabber) board
I/O board
PZT controller board
Motor VME card cage:
Motor CPU board
Stepper driver board 1-4
Encoder interface board
Stage:
XYT stage
Z Motor
Host chuck
Z PZT
X PZT
Y PZT
PM target
Floatation module:
(4) Isolators
(3) Proximity sensors
PID board
LINNIK and KLAASP:
Arc lamp housing
Dual aperture
LLG
LINNIK camera
PIN diode array
P PZT
Shutter
KLAASP camera
Power module:
Power transformer
AC compartment
Main DC power supply
Arc lamp power supply
Vacuum and pressure air inlet
(3) Vacuums
CDA
Software:
Windows NT 4.0
Software 14.60.02
GEM/SECS
KLASS 4.1.1.1
Computer configurations:
Pentium II 400 MHz CPU
128M Ram
(2) 9G hard drive disk
Floppy drive
CD ROM
Tape driver
Monitor
Thermal printer
Keyboard/track ball
Options: UPS
Facilities:
225VAC, 50/60 Hz input power
25"Hg input vacuum
97-110 PSI input CDA
Manual
1997 vintage.
KLA/TENCOR 5200XP是为提高性能和可靠性而设计的最先进的晶圆测试和计量设备。这对于开发和生产半导体器件以及各种材料和基材，如硅、砷化氙和薄膜至关重要。KLA 5200XP拥有独特的专利设计架构，包括多层宏观成像系统、强大的图像采集和图像处理单元、先进的干涉测量机以及完全可定制的计量软件。该工具具有高分辨率成像支持和测量功能，其中包括自动采样地形绘图和迭加映射。采用了高像素分辨率、16位信噪比和400万像素CCD摄像机的二维缺陷检测算法。还包括波前像差和Zernike分解，用于测量表面粗糙度、平坦度、功率、曲率半径、散焦、散光和倾斜等因素。所有参数都可以通过用户友好的触摸屏界面轻松设置。TENCOR 5200 XP采用可扩展的内部内存设计，最多可存储30,000个映像。该设备同时支持数据流到外部计算机和独立操作。它还具有具有先进的自动缩放、平移和倾斜模式的自动对焦资产,能够以最小的工作量优化样品查看,并且该设备能够测量直径可达10英寸的样品尺寸。由于可变尺寸的机器人样品托盘，安装、清洁和维护都很容易，而且模型包括高污染环境下的中层干泵。此外,5200XP晶圆测试和计量设备具有标准的IEEE通信,以及一系列其他选项,如无线连接、数据链路安全和远程在线诊断。KLA/TENCOR 5200 XP是广泛的晶圆测试和计量应用的理想选择,包括移动设备IC表征、故障分析、过程故障排除和屈服分析。它提供了比以往更快的性能和高度准确的结果,具有无与伦比的可靠性级别,有助于降低成本和提高设备产量。
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