二手 KLA / TENCOR 5200XP #9157118 待售

KLA/TENCOR 5200XP是一种晶圆测试和计量设备，旨在提供半导体制造过程中的精度和精确度。它是一种先进的晶圆检测工具，旨在检测和测量晶圆表面的缺陷。该系统配有高分辨率数码相机和大型自动化视觉单元（AVS），用于分析测试晶片的图像，获取标称分辨率为0.1微米的详细计量数据。KLA 5200XP采用了多种技术来分析晶片，包括光散射成像（LSI）、反射能量成像（REI）和光学亮度成像（OBI）。这些技术允许检测晶圆区域中即使使用高分辨率显微镜也难以接近的小缺陷。机器还支持接触成像，这是一种用于测量晶圆表面上触点高度变化极小的技术。TENCOR 5200 XP还使用了一系列自动化晶圆测试和分析工具，如缺陷和公差分析以及光学参数分析。这些工具可以对晶片表面缺陷进行完整的评估,确保在制造过程之前确定设备正常运行的潜在危险。作为一种自动化工具，TENCOR 5200XP可以减少管理检查过程所需的人力，保持高精度。它具有闭环制造能力，可以控制设施中其他系统的运行。此外，5200XP还可用于测量和存储晶圆测试和计量数据，从而能够更准确地评估当前的工艺参数。综上所述，5200 XP是一种通用的晶片测试和计量资产，旨在为晶片表面提供准确、高分辨率的分析。它具有一系列自动测试和计量工具,用于检测和测量缺陷,从而可以更好地控制制造过程。该模型还包括先进的视觉技术和闭环制造能力，以减少劳动力和最大化精度。