二手 KLA / TENCOR 5200XP #9167259 待售

KLA/TENCOR 5200XP是一种晶圆测试和计量设备，属于KLA 5200系列计量产品的一部分，以及它们的旗舰系列电子反向散射衍射（EBSD）系统。KLA 5200XP专为生产计量环境而设计，提供光学计量能力以快速测量芯片或晶片的厚度、应力和结构特性。该系统使用高速空间光调制器（SLM）投影和探测图像到晶圆表面，使其能够精确准确地测量晶圆的各种特性。定向光，包括斜光和斜光，用于改善临界面积测量和减少伪影。为了提高设备的准确性和可重复性，光源在晶片表面上不断扫描。TENCOR 5200 XP提供尖端的系统、过程和分析,以确保最优质的晶圆。它能够自动检测和诊断主要和次要缺陷,同时精确测量诸如蚀刻深度、模具宽度和厚度、细线宽、应力剖面等关键参数。此外,该机器还提供了一套全面的分析软件,使用户能够快速检测像差、识别趋势并了解芯片或晶片缺陷的根本原因。KLA/TENCOR 5200 XP为支持并行测试而构建，有四个独立的测量通道一次测量多个晶片。精确和高级的光学对准可确保该工具始终提供准确的数据,低功耗可确保高可靠性。5200 XP还能够进行精确的色度校正,在颜色测量方面提供更高的精度,并允许更快的扫描时间。综上所述，KLA 5200 XP是专门为高速生产环境设计的先进晶圆测试和计量资产。其高度精确的光学模型、强大的分析能力以及并行测量通道确保了精确准确的测量。该设备能够快速准确地测量关键区域,包括蚀刻深度、模宽和应力剖面,使其成为芯片和晶片生产的理想选择。