二手 KLA / TENCOR 5200XP #9214648 待售

KLA/TENCOR 5200XP是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体生产中的计量和检验应用。KLA 5200XP系统具有高精度和高通量的解决方桉,可用于提高产量和可靠性。该单元利用先进的成像技术，如飞行时间二次电子和反向散射电子，使其能够提供卓越的分辨率成像和高灵敏度缺陷检测。此外,反卷积算法还能够识别较小的特征和缺陷。自动对齐和成像功能（如步进和扫描以及图像缝合）,使计算机能够减少图像所需的总面积,同时需要更少的用户交互。TENCOR 5200 XP还包括各种增强图像分析的功能，如自动缺陷分类算法和参考设计库，让用户能够准确地将结果与已知标准进行比较。此外，KLA 5200 XP通过与光学检查系统和一级缺陷分析系统等其他系统的接口，为缺陷分析提供了更加集成和高效的工作流程。该工具还可以为各种应用提供计量解决方桉,包括临界尺寸测量、CD均匀性、迭加精度和直线平整度。它还集成了激光干涉测量，可用于测量由过程变化引起的特征临界尺寸和层高的剧烈变化。KLA/TENCOR 5200 XP也有多级自动化，使资产从晶圆向晶圆移动的精度和精度都很高。5200XP由于其卓越的分辨率成像、先进的缺陷检测算法和自动化能力的结合，已成为各种应用的计量和检验模式。它与其他系统接口的能力确保了高效、集成的工作流,从而提高了晶圆的总体产量和可靠性。