二手 KLA / TENCOR 5200XP #9230350 待售

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ID: 9230350
晶圆大小: 6"-8"
Overlay measurement system, 6"-8".
KLA/TENCOR 5200XP是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在提供半导体器件制造和在线过程监控方面的最高性能和准确性。凭借其先进的功能,KLA 5200XP提供了一个理想的平台,用于过程和产品表征、产量改进以及缺陷检测和纠正。该系统包括一个阶段/程序模块、一个扫描/检查模块和一个分析器模块。stage/prober模块为要测试的晶片以及一系列自动晶片处理组件提供了工作表面。扫描/检查模块利用独特的相控阵扫描头来精确测量晶圆顶部和底部的特征。分析器模块提供统计和计量数据以及缺陷数据分析。该单元能够测量单个和阵列设备晶片上的特征、厚度、缺陷和地形。它利用广泛的内置传感器进行多种计量,如光学反射法、电容、涡流、激光干涉法、偏转法和反射法。TENCOR 5200 XP还附带了广泛的专用工具,如红外(IR)图像分析、先进的成像和模式识别能力、纳米尺度线宽测量的先进技术以及3D地形和线宽测量的专用工具。该机器用途广泛,可根据特定的应用程序需要进行配置。它采用行业标准接口和规模能力设计,可轻松连接外部仪器和软件。它还设计了一系列先进的可靠性功能,以确保可靠和连续的操作。5200 XP非常适合产品和过程验证,以及生产和产量改进活动。它由经验丰富的专家团队提供支持,提供业界领先的客户支持。凭借这些功能,KLA/TENCOR 5200 XP是希望提高效率、提高产量和降低生产成本的制造商的完美解决方桉。
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