二手 KLA / TENCOR 5200XP #9236317 待售

KLA/TENCOR 5200XP晶片测试和计量设备设计用于对各种半导体制造工艺的晶片进行精确检查和测试。此通用系统支持多种应用程序,从2D和3D扫描到掩码检查、缺陷跟踪等等。对于2D扫描和检查，KLA 5200XP配备了大型高分辨率CCD摄像头和随附的全场扫描头。此高灵敏度成像单元提供卓越的灵敏度和图像分辨率,能够检测极小的缺陷。该平台支持使用自动对齐旋转级的3D扫描，允许用户精确扫描和评估不同厚度和表面地形的晶圆。TENCOR 5200 XP还包括一个高精度的平坦度测试头，它允许晶圆图像缝合和自动平坦度检查。这样就能够快速高效地分析晶圆平坦度,快速准确地识别出超出公差的区域。此外，这台机器还配备了集成激光干涉仪，能够为所有类型的晶圆提供晶圆边缘读数。此外，5200XP采用先进的KLA技术进行面罩检查。这允许检测和跟踪从掩模设计到制造设备的缺陷。高吞吐量、灵活性和无与伦比的精度使5200 XP成为掩模检查和缺陷分析的理想工具。这也有助于减少错误的产品和客户回报,最终提高流程效率。总体而言，KLA/TENCOR 5200 XP是为快速准确的晶圆测试和计量而设计的。其全面的成像、3D扫描、平整度测试和掩模对准功能,加上易于使用的界面,确保用户能够准确高效地评估其晶片的质量。这使得KLA 5200 XP成为确保卓越半导体制造质量的宝贵工具。