二手 KLA / TENCOR 5200XP #9241362 待售

KLA/TENCOR 5200XP是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在提高半导体制造的产量、降低成本和改进工艺控制。KLA 5200XP结合其软件包，提供了一系列缺陷分类、晶圆映射和粒子大小的解决方桉。TENCOR 5200 XP基于KLA扫描激光成像显微镜（SLIM）设计。该系统使用光学激光头扫描样品，机械级移动样品。SLIM由线扫描解决方桉和滴扫描解决方桉组成,这使KLA 5200 XP能够为聚焦离子束（FIB）图像和光学图像提供最佳解决方桉。一组CCD摄像机、图像处理器和图像受体都包含在单元中，从而实现了准确的数据采集和分析。5200XP还具有几种不同的成像模式，如偏振光、透射光、荧光光和倾斜角度成像。这有助于用户通过提供不同的成像解决方桉，更好地了解缺陷分类、晶圆映射和粒子大小。TENCOR 5200XP可以测量高达8.5英寸的晶圆，允许减少循环时间。这台机器还具有快速的模式识别能力，能够快速准确地检测晶圆上的可变缺陷。进一步的自动化过程包括使用嵌入式算法和模式识别软件进行缺陷分类。这款KLA/TENCOR 5200 XP为用户提供了用户友好的数据分析软件。此外，5200 XP还支持晶圆映射、缺陷排序等各种软件包。这为用户提供了对缺陷分类、粒子优化和屈服的更多控制。KLA/TENCOR 5200XP还提供了一个自动化的统计分析工具，帮助用户改进流程，发现新出现的问题，并找出可能的解决方桉。最后,KLA 5200XP支持一种可追踪性资产,使用户能够监控更改及其流程的运行状况。这一特点对提高工艺稳定性、产量和产品整体质量特别有利。总之,TENCOR 5200 XP是一种综合的晶圆测试和计量模型.它旨在使用户在半导体制造中提高产量、降低成本和获得更好的工艺控制。该设备还具有广泛的功能，使用户能够更好地了解缺陷分类、晶圆映射和粒子大小。