二手 KLA / TENCOR 5200XP #9279019 待售

KLA/TENCOR 5200XP晶圆测试计量设备是专门为半导体器件制造行业设计的高端晶圆检测系统。KLA 5200XP提供先进的光学计量、精确的缺陷检测以及精确的2D和3D测量。该装置能够快速检查超过24个不同的成像地形，以检测新出现的纳米缺陷。其激光干涉仪采用专利设计，有助于保持非常精确的光学计量对准和准确性，为准确检测缺陷、三维轮廓测量和成像提供可靠基础。TENCOR 5200 XP晶片测试计量机配备了1000级洁净室兼容环境和最新的5轴扫描头，能够通过4象限精密扫描在所有特征中高速持续成像。5200XP具有强大的显微镜,变焦场可达300倍,可有效检查和聚焦10 nm以下的特征。利用计算机视觉技术，KLA/TENCOR 5200 XP以最高精度精确测量每一个参数。KLA 5200 XP与一种新型的模式识别工具配合使用，可以通过其统计正缺陷（SPD）算法快速检测和测量任何类型的缺陷。资产还包括带有直观图形用户界面（GUI）的高端软件套件。结合用户可调整的统计设置和灵活的检查标准,GUI可以针对特定需求进行定制,并为用户提供从头到尾监控过程中控制的功能。此外,高度可定制的5200 XP还包括实时缺陷跟踪、独特的高级数据提取功能和功能强大的报告模块。TENCOR 5200XP的实时图像/数据分析和报告功能可确保在需要时采取快速纠正措施。KLA/TENCOR 5200XP是一种易于操作但功能强大的工具,可提供半导体器件技术人员所需的模型灵活性。从快速准确的缺陷检测到多重地形成像，KLA 5200XP晶圆测试和计量设备是提供可靠检测结果的重要工具。