二手 KLA / TENCOR 5300 #120866 待售
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已售出
ID: 120866
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Overlay measurement system, 8"
Process: PEP
Control console:
Console PC
Monitor
Keyboard and trackball
Video printer
Sub storage device (CD/floppy/tape)
Power and signal cables
Handler:
Robot
Power and signal cables
Inspection station:
Main body stage
X-Y chuck stage
Optics
Power and signal cables
Includes:
Site preparation manual
Software version upgrade manual
Operation manual
Customer logbook
Backup floppies (1 set)
208 V, 1 phase, 50/60 Hz, 12.5 A
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300是一种最先进的晶圆测试和计量设备,专门设计用于半导体器件的自动化和精确分析。它为在生产过程中评估和表征晶片、模具和最终元件以及各种封装形式的测量和表征提供了一个用途广泛、用户友好的平台,包括但不限于板载芯片(COB)、球栅阵列(BGA)和翻转芯片设计。该系统由计算机工作站、探测站和高级CCD摄像头组成。工作站配有触摸屏界面、综合运动控制和内部数据采集,提供测试程序和数据收集的控制和可追踪性。KLA 5300中的集成探测站是一种高分辨率、可编程的探头,可根据不同的晶圆大小和探头形状轻松移动和调整。它还提供高度精确的测试测量和数据收集。除了用途广泛的探测站外,该装置还采用先进的CCD摄像机技术进行检测、表征和缺陷检测。TENCOR 5300中的自动成像机能够以高分辨率成像,具有20 µm的侦测精度,以及可靠的高完整性影像校正工具,提供每个样本的高保真影像。自动和用户导向的性能优化技术(包括自动缝合和动态焦点设置)可实现质量计量。5300还具有多种应用程序和软件选项,允许用户自定义资产以满足其特定需求。从基本过程控制到高级IC测试,该模型提供了多种软件包和选项,允许用户根据自己的特定需求定制设备配置。总之,KLA/TENCOR 5300是一种功能强大的晶圆测试和计量系统,配备了多功能探测站和先进的CCD相机技术。KLA 5300具有用户友好的触摸屏界面、集成的运动控制和数据采集,以及各种各样的软件选项,是半导体器件和封装质量测试和分析的理想选择。
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