二手 KLA / TENCOR 5300 #120993 待售

KLA/TENCOR 5300是一种最先进的晶圆测试和计量设备。它是为先进的缺陷检测和过程控制而设计的。KLA 5300通过自动光学检查（AOI）、自动缺陷识别（ADR）和次像素成像系统（SIM）三种独立技术实现高灵敏度。AOI使用电荷耦合器件（CCD）相机捕捉晶圆的高分辨率图像。通过板载图像处理,设备可以实时识别和识别缺陷。该机器能够检测亚微米缺陷，并能识别出一系列电气和光学特性，包括短裤、开口、缺陷、焊桥和对准问题。ADR用于检测特定类型的缺陷。它对图像进行深入分析，搜索晶圆区域之间的模式和相关性。这使得它能够检测到最小的缺陷。ADR还提供了可追踪性和可追踪性分析，允许更大的过程控制和深入的产量分析。SIM技术是TENCOR 5300的核心，使其能够检测到纳米级结构缺陷。通过创建晶片的高分辨率图像,它允许工具检测各种缺陷,包括线宽不匹配、缺少结构和位移。它还可以分析AOI和ADR的结果，并提供晶圆结构的详细评估。总体而言，5300是晶圆测试和计量的有力工具。它提供了高灵敏度、先进的缺陷检测以及更全面的过程控制分析。凭借其强大的特性，可以帮助提高产量和生产质量，减少上市时间。