二手 KLA / TENCOR 5300 #9031694 待售

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ID: 9031694
Overlay measurement system Main body unit Operation unit Autoloader unit.
KLA/TENCOR 5300是为成长中的半导体产业而设计的高度先进的自动化晶圆测试和计量设备。该系统为参数化产量测量、快速批次筛选、晶圆验证和检验工作提供了优越的能力。KLA 5300具有极高的生产率和准确性,能够在生产工作流程中改善工作流程并提高生产产量。该单元配备了先进的光学和X-Y-Z扫描技术,用于快速的样品处理和快速的测试数据采集。该机以完全的计算机控制操作,以完全自动化的方式优化了易用性和先进的性能。TENCOR 5300提供4轴自动晶片定位、自动对焦、高精度非接触式配准。此外,它还配备了高度可见的彩色LED显示屏,为技术人员提供清晰的系统操作可视化效果。5300采用各种复杂的算法来测量、测试和评估复杂的特征。它提供逐行边缘细节、集成电路转弯、晶圆常数以及其他类型的晶圆要求。其增强的基于参数的定向工具允许在大面积上精确对齐,而其先进的错误检测算法则有助于识别微小的缺陷。该工具支持最先进的测试晶片,包括定制、金属氧化物半导体(MOS)、铜和低k材料。它提供了广泛的应用,从多级电阻率、电气参数和X射线分析到形状配准和图像缝合。KLA/TENCOR 5300具有完全可配置的自动化单元和一系列通信端口,可提供具有全面测试功能的完全集成资产。该模型还支持复杂的晶圆生产力功能,例如远程访问、用户定义的应用程序和快速数据分析。此外,它可以在广泛的环境条件下运作,从而能够监测和控制世界各地的生产场地。利用先进的晶圆测试和计量技术,KLA 5300提供了卓越的功能,可简化操作并提高任何半导体制造环境的产量。
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