二手 KLA / TENCOR 5300 #9047921 待售
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KLA/TENCOR 5300是一种晶圆测试和计量设备,提供深入的数据分析,以确保半导体晶圆符合规格和质量要求。它能够分析特定参数,如特征大小、缺陷密度、表面粗糙度等特征。KLA 5300使用先进的光学技术生成晶圆的高分辨率图像,并捕获数据,然后对其进行分析以检测缺陷和表面异常。系统的成像功能允许详细描述设备特性,如线宽、线缘粗糙度以及每个设备上的打开/缩短次数。该设备可帮助晶片制造商在潜在问题变得昂贵之前发现它们。TENCOR 5300可以检测到裂纹、分层、颗粒污染、损坏以及其他可能影响器件产量或性能的异常。它还可以识别特征大小过高或过低的区域,这可能会影响设备的可靠性。5300能够测量低至45纳米的特征并执行高达6.25毫米²/秒的测量。它还配备了多种编程选项,允许用户为特定设备类型设置定量测量标准。此外,该机能够自我校准,以提高精度和准确性。该工具还与各种过程控制系统和晶圆管理软件兼容,使集成到客户系统中变得简单高效。这允许用户完全控制晶圆测试过程,实时监控生产数量和质量。KLA/TENCOR 5300的设计考虑到可靠性,旨在承受半导体行业的严谨需求。综上所述,KLA 5300是一种先进的晶圆测试和计量资产,提供了高度的准确性和可靠性。其基于光学的成像技术允许对设备特性进行详细的表征,最低为45纳米,而其编程选项使用户能够设定特定的定量测量标准。该模型还非常高效,易于集成到现有的客户系统中,使其成为半导体晶片生产商的理想选择。
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