二手 KLA / TENCOR 5300 #9072400 待售

KLA/TENCOR 5300是为半导体和MEMS行业设计的先进晶圆测试和计量设备。它提供了卓越的准确性和数据收集功能,能够检测和评估比以往更小的缺陷和结构。该系统采用了统一智能和一系列独特工具等先进技术。这些帮助识别常规和具有挑战性的缺陷,例如交叉、断开连接和间距。该解决方桉还为具有挑战性的结构如线缘粗糙度和衍射光栅提供图像处理和分析。KLA 5300的性能由其独特的探测器、组合器和扫描头启用。它利用了专有的光学配置、高级光学和软件控制。这些技术使设备能够以优异的均匀性生成可重复、可靠的数据。它还提供20nm或更高的增强光学分辨率。机器的自动校准和分析功能有助于提高精度和减少时间。广域检查可以更快地检测细微和较大的缺陷。该工具强大的数据分析算法能够自动测量线路签名和缺陷分类。TENCOR 5300还提供多种高级计量解决方桉。其中包括线性、均匀性和光刻胶厚度的自动测量。资产的缺陷审查还支持用于产量分析、光刻故障分析和污染物检测的自动缺陷分类。该模型的一套计量解决方桉使其非常适合监控生产质量。该设备的设计符合业界最高标准的要求。它非常可靠且无维护,并提供强大的特征检测、扩展的动态范围和广泛的视野。5300是可靠晶圆测试和计量的经济高效、准确的解决方桉。适用于广泛的过程控制和先进的计量应用。