二手 KLA / TENCOR 5300 #9112501 待售

KLA/TENCOR 5300是一种高性能晶圆测试和计量设备，为晶圆生产提供可靠、可重复、准确的测量数据。该系统完全自动化,结合了线性和2D图像测量以及高级算法,使其成为行业中晶圆测试和计量的最有效解决方桉之一。KLA 5300结合了两种互补技术：光学晶片检验和光学晶片计量。光学晶片检测平台利用先进的光学和图像处理算法检测晶片表面的物理缺陷。该单元可以检测到广泛的潜在缺陷，如部分、划痕和污染物。这有助于确保过程产量,并产生更可靠、更坚固的产品。光学晶片计量平台设计用于测量晶片上区域的精确尺寸值,如线宽、深度、图样和临界尺寸（CD）。这是通过集成的高度自动化的机器实现的,该机器包括用于快速和准确测量的高级算法。该工具支持一系列晶圆，从单晶基板到图案化晶圆。支持多种光学配置，包括显微镜、远心和反视图系统、分光光度计和激光干涉仪。该资产还集成了激光束定位、模拟退火、自动对焦等最新机器视觉技术。基于激光的系统可实现高速扫描和更快的整体过程吞吐量,帮助最大限度地减少模型停机时间并提高产量。此外，设备还配备了自动化审计服务，以确保准确性和可靠性，即使在长时间运行之后也是如此。总体而言，TENCOR 5300是一个可靠的晶圆测试和计量系统，旨在产生高质量和可靠的工艺结果。它结合了先进的光学测量技术和强大的计量算法,有助于简化生产过程,并确保为广泛的晶圆生产应用提供可靠和准确的数据。