二手 KLA / TENCOR 5300 #9190561 待售
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KLA/TENCOR 5300晶片测试计量设备是一种先进的半导体集成电路检测工具,提供薄晶片层厚度、缺陷和电气特性的精确测量和分析。此综合系统具有先进的光学成像功能,可用于晶圆表面的高分辨率检查和映射,以及自动图像缝合功能,可对完整的晶圆表面进行无缝检查。KLA 5300利用缺陷感应和微调聚焦技术,利用实时三维成像快速检查和表征微观缺陷。它汇总了关于表面粗糙度、表面缺陷、阵列相关高度信息和横截面异常的丰富而详细的数据。作为测量地表地形能力的一部分,该单位以高达每秒320点的速度捕获数据,以便不间断地快速测量连续的点。此外,TENCOR 5300还具有计量功能,可提供精确和可重复的电气测量,包括板材电阻率、板材电阻和板材电容测量。此外,该机还提供独特的电压对比度特性,以及用于接触电阻检查的两端开尔文接触技术。该工具通过一个独特的直观和用户友好的图形用户界面进行控制,它为操作员提供了对程序内存、参数和测量工具的轻松访问。此外,用户界面可配置为与复杂的统计过程控制软件应用程序配合使用。5300资产通过其嵌入式传感器系统为快速收集数据提供了一个用户友好的环境,该系统可实时查看关键电气参数并捕获电气数据。它准确地执行这些检查,同时防止操作员因符合人体工程学的高级设计标准而疲劳。KLA/TENCOR 5300是半导体晶圆洞察和分析的终极解决方桉。其光学和电气精度的集成是任何其它晶圆测试模型所无法比拟的。归根结底,该设备旨在为任何集成电路晶片的开发、测试和生产环境提供最大的产量和可靠性。
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