二手 KLA / TENCOR 5300 #9194881 待售

KLA/TENCOR 5300是晶圆测试和计量解决方桉中的最新产品。该设备设计用于半导体生产过程中的无损测试,以满足高级设计中非常小的特征尺寸的需求。采用独占技术结合无损测量能力和先进的自动化计量，KLA 5300可以快速识别尺寸从3"到8"的任何大小或形状的晶片中的缺陷，包括单晶、多晶和陶瓷材料。该系统具有机械和光学元件,使其能够在多个位置上精确测量晶圆的形状和参考水平。它还配备了绿色激光和4K相机，可以捕获晶圆上数千个缺陷、粒子和表面异常，操作员无需付出额外的努力。机器人处理程序和高级软件允许TENCOR 5300检查比正常大的样品，包括更大的底物和砷化​​的样品，同时仍然能够准确检测缺陷。5300还提供了一套高级算法,允许自动识别和校正异常。这提供了高度自动化的工作流,可提供一致和准确的缺陷检查。而且，该单元能够同时扫描单个晶片的多层，多层扫描功能在没有任何手动设置的情况下工作。这可以显着加快缺陷检测。KLA/TENCOR 5300对小到2 µm的特征尺寸具有计量能力,这对于检查在先进技术设计中越来越普遍的小的亚微米特征尺寸尤为重要。最后，机器还提供统计过程控制（SPC），一种功能强大的工具，使用户能够跟踪晶圆特性，对可能发生的任何异常都有洞察力，可以用来改善整个过程。总之，KLA 5300是一种终极的高级晶圆计量工具，它既能提供精度和速度，又能准确、高效地检测数千个缺陷和粒子。它是满足需要非常小的特征尺寸的高级设计需求的理想解决方桉。