二手 KLA / TENCOR 5300 #9205448 待售

KLA/TENCOR 5300是为半导体制造量身定制的先进晶圆测试和测量设备。作为第五代分选器家族的一部分,KLA 5300采用智能算法、精密光学和业界领先的计量技术来支持现场检测缺陷,并帮助优化性能。TENCOR 5300专为最大吞吐量而设计，支持广泛的高精度探针卡和硬件组件，以最高的精度和速度水平对晶片和芯片进行检查、分类和测量。该系统先进的硅显微镜提供2D和3D成像，允许检查表面和内部缺陷。5300的独特设计可确保缺陷分辨率降至0.7 μ m。数据捕获和分析也是该单位运作的组成部分。通过结合工程知识和先进的机载分析，KLA/TENCOR 5300能够准确检测、分类、测量各种缺陷。特殊功能包括自动测量、自动对齐、高级成像过程以及大量自动数据输入选项。KLA 5300用于各种生产应用,从成像和测量步高到扫描前瞻性图像和TEM图像。还用于线宽测量、工艺评估、表面粗糙度检测、3D分层、芯片翻转、静电放电检测、设备检测。为了使性能最大化，TENCOR 5300集成了一系列先进的数据分析工具，包括模模比较、SPC分析、设计规则检查和芯片到晶圆映射。此外,专有的图像增强算法可实现更好的缺陷分类。机器上捕获的所有数据都可以导出为行业标准的文件格式,从而增加了部门之间的协作。总体而言,5300为半导体晶圆测试和计量提供了强大而高效的支持。该工具具有先进的光学和分析、高精度探针卡以及支持操作的自动化功能,可实现快速、精确的缺陷测试和测量。