二手 KLA / TENCOR 5300 #9205449 待售
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已售出
ID: 9205449
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Overlay measurement system, 8"
Control console:
Console PC
Monitor
keyboard and mouse(Track ball)
Video printer
Sub storage device(CD / Floppy / Tape)
Power & signal cables
Handler:
Robot
Power & signal cables
Inspection staion:
Mainbody stage
X&Y chuck stage
Optic
Power & signal cables
Components name:
Line conditioner
Handler
Console PC
DSW
Included:
Site preparation manual
Operation manual
Customer logbook
Backup floppy
Power supply: 208V, 50/60 Hz, 12.5A, 1P
Manual included
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300是一种自动化晶圆测试和计量设备,用于先进的半导体器件开发、制造和维修。该系统采用自动双面、双侧、垂直运动晶片处理程序,可固定多达150毫米(6英寸)晶片。设计独特的加速器导轨加快和减慢晶圆处理程序的速度,以便快速对准和精确计量测量和成像。KLA 5300的GigaView9探测器部署了三个精确入射在每个模具位置的高强度激光器来执行高级表面分析。这允许使用无损成像和暗场成像进行实时扫描,并在ProAutofinder的帮助下自动检测模具、目标位置和要成像的跟踪路径。此外,该设备的脉冲模式发生器(PPG)可在各种测量参数上实现量身定制的TFT解决方桉,从小型到大型模具。具有数据专家间隔浏览器(DEXIE)功能的用户友好软件环境简化了操作,并提供了功能限制和直方图等统计分析功能。此外,该机还支持晶圆图分析的多种选择工具,以确保质量控制。TENCOR 5300具有可靠的晶圆测量和计量性能,是先进晶圆制造和设备开发的高速、经济高效的解决方桉。通过将业界领先的测量性能与直观的用户友好软件相结合,该工具实现了快速可靠的过程控制。凭借资产的广泛特性和功能,质量控制团队可以在晶片的生产和维修中获得精确和可重复的测量结果。
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