二手 KLA / TENCOR 5300 #9350994 待售

KLA/TENCOR 5300晶片测试计量设备是一种多轴自动扫描系统，可用于测量晶片的几何特性、照片、薄膜厚度、电性能、薄膜应力、电荷等多种性质。这个单元设计有一套自动化工具和软件，可以测量、定位和量化晶圆缺陷。这些功能中的每一个都被设计成在6英寸到300毫米晶圆的各种基板上运行。KLA 5300包括一个高速、基于激光的扫描头，具有获得专利的光束切换能力，允许在扫描时在不同的激光波长之间快速切换。这种独特的设计可以同时精确测量样品的表面特性、性能和均匀性。该机还包括光伏成像装置，使用单色照相机捕捉物理缺陷、沟槽和生产材料不均匀的图像，而板载表面计量工具则测量薄膜厚度和薄膜应力、移动性等特性。TENCOR 5300配备了直观的用户界面和软件控制的仪器，简化了设置和操作。该工具显示图像的3D显示,操作员可以使用它快速定位和测量示例中的缺陷。该资产设计为用户友好，可轻松配置和编程，以满足用户的个人需求。5300采用最可靠和最现代的技术制造,具有高度耐用和可靠的物理外壳。它还具有用于样本跟踪、可追踪性、可重复性和可重复性的自动化模型。这样可以确保每个测量在大量样品上都是准确和可重复的。KLA/TENCOR 5300在测量过程中提供了前所未有的灵活性和精确度,并通过最新技术不断改进和更新。其最新的升级包括测温测压能力、高速、面积较大的样品以及薄膜测量。这些特性使得KLA 5300成为晶圆测试和计量的理想选择。