二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #194942 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是半导体工业中使用的晶圆测试和计量设备。该系统擅长检测晶片上的表面和界面缺陷，并提供强大的统计数据分析，使设备工程师能够准确确定性能特性。KLA 5500 Surfscan单元用于晶圆制造过程中的广泛应用,包括质量保证、产量改进、工艺表征、故障分析和根本原因分析。该机器在各种晶圆尺寸和应用中提供高性能,以确保最大限度地控制质量。TENCOR 5500 Surfscan工具使制造商能够快速检测晶圆上的表面和接口缺陷,否则会影响最终设备的质量。它具有扫描白光干涉测量（SWLI）、多角收敛束电子衍射（MACE）和扫描电子显微镜（SEM）三项主要技术,使其能够实现快速、准确的测试。SWLI通过检测甚至最小的表面和界面形状细微变化来提供快速和高度敏感的晶圆表面计量。MACE有助于减少错误缺陷检测,可用于表征各种技术的界面特性。最后，SEM提供了结构缺陷的自动检测，如掺杂剂覆盖率差或接触形成差。5500 Surfscan资产还提供了许多高级功能,可帮助工程师避免错误拒绝并准确确定性能特性。这些包括统计数据分析、可定制的过程和实时缺陷检测。这些特性使得快速检测和诊断缺陷变得容易，从而使制造商不会浪费资源重制相同种类的缺陷晶片。总体而言,KLA/TENCOR 5500 Surfscan是现代半导体制造中的一个非常宝贵的工具。它将一系列先进技术完美地融合到一个全面的晶圆测试和计量模型中,以最大限度地提高效率并帮助设备工程师准确确定性能特性和检测危险缺陷。