二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293587041 待售
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ID: 293587041
晶圆大小: 4"-6"
Inspection system, 4"-6"
Process: Cassette to cassette
High throughput
High resolution.
KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,用于半导体工业的精确晶圆测量。该系统是一个非常精确的非接触单元,用于测量图样化和非图案化晶片的形状和轮廓。使用自动光学剖面仪,该机器能够对各种材料进行超低噪声、快速和精确的扫描。KLA 5500 Surfscan使用非接触式光学显微镜和专有的激光扫描干涉测量(LSI)工具来测量一系列晶圆材料。LSI资产创建了晶圆地形的三维地图,允许用户对甚至最小特征的表面特征进行检查、分析和报告。该模型能够检测到10纳米以下的表面特征形状和高度。除了测量表面特征形状和高度,TENCOR 5500 Surfscan测量晶圆的电阻率。这种测量被用来表征晶片的电阻,这对电子器件的功能和故障很重要。5500 Surfscan能够以高精度测量电阻率,使用户能够检测和监视电压变化,尤其是在IC、晶体管和其他可跟踪组件中。KLA/TENCOR 5500 Surfscan还配备了一个软件应用程序,能够对晶圆数据进行视觉解释和分析。通过快速准确地绘制和解释数据,用户可以更好地了解他们的晶圆模式,以便进一步研究和实验。这种设备方便用户使用,能够实现自动化操作,从而获得更精确的结果。总体而言,KLA 5500 Surfscan是一个可靠而强大的晶圆测试和计量系统。其高分辨率测量形状和轮廓的能力,以及对表面特征形状和电阻率的检测,为用户提供了可用于设计和制造半导体的可靠数据。此外,软件应用程序还提供了有用的可视化分析工具,使用户能够快速轻松地解释、分析和报告晶圆数据。因此,TENCOR 5500 Surfscan是半导体行业不可或缺的工具。
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