二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293594917 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一种最先进的晶片测试和计量设备，旨在检测和评估半导体晶片制造中的关键缺陷。该系统能够检测和测量各种缺陷,包括凹坑、裂缝、晶界、薄膜和残留物、晶圆厚度不均匀、弯曲或弯曲、颗粒污染和电阻率不均匀。此外,KLA 5500 Surfscan的先进技术支持电气测试和图稿检查,以实现更快、更准确的缺陷检测。TENCOR 5500 Surfscan专为提高工作效率而设计,采用快速直观的自动测量流程,可实现可重复的精度和精确的控制。该单元配备了数百个传感器和扫描阶段，以精确测量尺寸，以及识别缺陷并进行分类的高分辨率成像和数据分析算法。内置软件可自动对准晶片并测量缺陷位置,从而能够快速筛选每小时多达160个晶片。该机器还具有可选的高级轮廓轮廓测量系统,可增强其缺陷检测功能,从而能够高效、精确地测量曲面轮廓粗糙度和其他物理特征,包括轮廓几何形状、台阶高度以及超角度和下角度。5500 Surfscan提供多种成像模式,包括亮场、暗场和差分成像,以帮助确定缺陷大小、密度和方向。KLA/TENCOR 5500 Surfscan的硬件配置性强，拥有多个摄像头和镜头，可以配置为从不同角度捕捉图像。该工具配备了多种照明源，包括LED和汞弧灯，并配有外部滤波器立方体和光谱仪、微型规格系统、数字化模块等多种配件。加热阶段使用户能够在高温环境中分析样品。此外，KLA 5500 Surfscan兼容一套高级软件程序，以最大限度地提高其准确性和效率。其中包括Dynamic Analysis Software、Flowvision软件和Curv-x软件,能够全面分析和报告曲面特征、剖面分析和缺陷大小。这样可以及时反馈过程控制和监控,帮助确保无缺陷的生产,并缩短周转时间。