二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293616224 待售
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KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一款最先进的晶圆测试和计量设备。它旨在满足半导体行业的缺陷审查、缺陷检测和检测需求。该系统为粒子检查、表面成像和地形以及模具间和层间缺陷研究提供了全面可靠的结果，从而能够在晶圆级进行透彻的分析。KLA 5500 Surfscan拥有1.4 Gigapixels、1.3百万像素CMOS成像探测器，分辨率为12 μ m。这样可以精确地成像晶圆表面的所有颗粒、缺陷和其他特征。成像装置位于集成的机动化晶片级内，该级具有较高的位置精度，能够精确地绘制颗粒和缺陷图，并对缺陷位置进行受控扫描/成像/测量。此外，该机还具有内置激光干涉仪，可确保晶圆的精确探测和扫描，以及缺陷位置的精确矩阵表示。Surfscan 5500能够同时进行2D和3D成像,从而能够精确地表征表面地形。这是使用工具的高级算法来完成的，该算法提供高分辨率的结果和精确的测量。该软件还包括自动化的统计分析和绘图工具,以便于比较来自不同地点以及来自不同站点或制造商的结果。该软件还可以方便地存储数据和查看晶圆的视觉质量。总体而言，TENCOR 5500 Surfscan资产是半导体制造商不可或缺的工具，为粒子检测、表面成像和地形以及模间和层间缺陷研究提供精确可靠的结果。凭借其高分辨率成像和自动化分析工具,该模型能够促进快速、准确的质量审查,是任何晶圆制造设施的绝佳补充。
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