二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293795821 待售
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KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,半导体行业用来提供集成电路物理和电气特性的高精度数据。该系统旨在精确测量表面特征,如针纹缺陷、表面空隙和可打印性。KLA 5500 Surfscan提供了几个关键的分析功能。首先,它的微分辨率光学空中成像和扫描单元提供高精度测量,分辨率为0.05微米,可重复性为0.15微米。其次,其晶圆探针提供了一种具有自动晶圆对准功能的闭环计量机。第三,TENCOR 5500 Surfscan配备了双面升降料斗,通过缓冲多个晶片来增加自动循环时间。最后,该工具的用户友好软件界面允许用户轻松定制多个测试、查看测试结果和查看报告。5500 Surfscan支持广泛的分析和处理选项,包括缺陷隔离和分析、分层缺陷分析、微空隙分析和针型缺陷分析。此外,该资产还提供高级软件选项,如Metrix数据分析、Edge检测和结束节点检查。KLA/TENCOR 5500 Surfscan采用模块化体系结构进行设计,从而可以轻松、经济高效地将模型集成到现有设备或外部计算机中,以用于远程监控、控制和数据管理。该系统还可以进行修改和配置,以满足各种行业要求,使其适合广泛的生产环境。此外,该单元的设计具有紧凑的占地面积,使其能够安装在占地面积较小的洁净室中。此外,KLA 5500 Surfscan与各种晶片兼容,物理尺寸从1到8英寸不等。最后,该机器有一个全面的服务和支持网络作为后盾,确保用户能够访问最新的技术和更新。总体而言,TENCOR 5500 Surfscan为晶圆测试和计量提供了一种创新而可靠的工具,它提供了具有快速测试周期的高精度数据。凭借其模块化体系结构和广泛的分析功能,此资产适用于各种生产环境。
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