二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293815231 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是为半导体工业设计的晶圆测试和计量设备。该系统高度可靠，能够自动测量半导体晶片上的许多参数。它包括一个晶圆测试平台、晶圆处理机器人技术以及一套自动化的数据收集、分析和报告工具。KLA 5500 Surfscan的平台使用激光干涉仪测量晶圆的尺寸特性如厚度、平坦度和平坦度变化。使用二极管激光单元测量晶片的表面地形，包括缺陷、粗糙度和步进高度。可编程探头用于测量电接触电阻、表面电位和模式识别。晶圆测试平台还包括一台用于离线缺陷检测和评审的成像机。TENCOR 5500 Surfscan工具上的晶圆处理机器人技术允许晶圆的加载和卸载以及测量点的对齐。机器人设计用于处理各种尺寸的晶片，同时保持精度和速度。5500 Surfscan资产的自动化数据收集和分析功能为整个晶圆测试和计量过程提供实时反馈和数据处理。这些数据可以在内部进行分析或导出以进行进一步分析。晶圆测试结果的报告是全自动的,而且很容易获得.KLA/TENCOR 5500 Surfscan为晶圆测试和计量提供卓越的性能和功能。该模型坚固、可靠且精确,允许快速周转时间和改进的过程控制。该设备易于升级，可用于大多数环境，是半导体晶圆测试的绝佳选择。