二手 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #55391 待售

KLA/TENCOR 5500 Surfscan是一款先进的晶圆测试和计量设备，能够对各类半导体器件进行高通量测试和分析。该系统与先进的光学散射测量单元集成在一起，能够改进半导体器件上结构和电气参数的特性。这台机器还具有强大的自动对焦功能，可优化成像以获得均匀性和关键计量结果。此外,KLA 5500 Surfscan能够提供低失真测试,使其适用于评估具有高长宽比和曲面的设备。TENCOR 5500 Surfscan随附Scan Generator软件，方便晶圆跟踪和全局对齐测量。该软件支持多种特征配置和评估，包括全局对准测量、光学散射测量、曲率半径、倾斜、最佳焦点等。此外,它的多维变换分析可以在实际特征形状和目标设备之间进行精确的比较。该工具通常使用空气轴承扫描仪扫描具有4英寸和6英寸测量场的500毫米晶片。由于其低分辨率水平和高速扫描速率,该资产能够测量低模式密度。它还提供三种不同的扫描选项,包括高分辨率、中分辨率和快速扫描。除了扫描晶片之外，模型还提供了一个3-D旋转级来测量离散元件或器件。5500 Surfscan附带用户友好的检查软件,便于设备的实施和操作。这个直观的软件有一个图形用户界面，便于快速设置和分析结果。软件还提供了强大的数据分析选项,包括曲线拟合和参数提取,以实现高效的数据分析。该系统用于广泛的晶圆计量应用，包括临界几何评估、模式拓扑测量、缺陷检测和分析以及其他检查应用。它还有助于表征研究、生产增强、工艺鉴定以及与可靠性和工艺开发相关的其他应用。KLA/TENCOR 5500 Surfscan的实时监控能力使其适合于内联过程控制和高级过程改进。